用途:清除BCB边缘残留,防止污染。
特性:树脂清洗剂QX-1100清除BCB旋涂后边缘残留或溢出胶层,防止污染键合机台或后续工艺区域。用于非光敏BCB光刻或键合前的清边处理,尤其适用于圆片级封装工艺。
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