全称:Divinyltetramethyldisiloxane bis-benzocyclobutene
中文:二乙烯基四甲基二硅氧烷双苯并环丁烯
行业简写:DVS-BCB / DVSBCB
陶氏商用体系:Cyclotene 3000/4000 系列树脂核心单体
CAS:117732-87-3
分子式:C24H28Si2O,分子量:388.65 g/mol
中间桥连单元:四甲基二乙烯基二硅氧烷(DVS)柔性硅氧烷链;
两端各共价连接一个 4 - 位取代苯并环丁烯(BCB)刚性芳环结构;
双端均带有 BCB 张力四元环,属于双官能团交联型硅杂化 BCB 单体,也是全球商业化最成功的 BCB 树脂母体。
外观:高纯单体为淡黄色至琥珀色透明粘稠油状液体;配成电子级树脂溶液为澄清可旋涂液
溶解性:易溶于均三甲苯、二甲苯、Mesitylene、THF、环己酮等微电子专用溶剂;完全不溶于水、醇类
热行为
起始开环固化温度:180℃,完全固化区间 210~250℃;
未固化单体高温仅发生 BCB 开环聚合,无小分子挥发;
储存要求
密封避光、常温、隔绝热源、自由基引发剂、强氧化剂,防止提前热交联。
介电性能(毫米波 11GHz)
Dk≈2.65,Df≈0.002,是 5G/6G 射频、毫米波芯片标杆低 k 材料;
吸水率:<0.2%,远低于普通聚酰亚胺 PI、环氧树脂;
力学:弹性模量约 2.2 GPa,薄膜平整度极佳,多层堆叠不易翘曲;
耐候:耐酸碱、耐氟化等离子体、耐辐射、优异铜金属阻挡层性能;
光学:固化后薄膜透光性好,可用于光子集成光波导。
2.5D/3D 异构集成、CoWoS、Fan-out 扇出晶圆级封装
RDL 重布线层绝缘介质、金属多层布线层间隔离膜;
TSV 硅通孔钝化填充保护层、硅中介层绝缘薄膜;
晶圆临时键合胶、永久低应力粘接胶、芯片凸点下保护层;
负性光敏 BCB 光刻胶主体树脂,可 UV 曝光图形化,替代部分 PI 钝化层。
5G/6G 雷达射频芯片、相控阵天线基板、毫米波滤波器、谐振器介质材料;
高速高频 PCB 高频树脂覆铜板,降低信号传输插损。
MEMS 微机电系统结构粘接、真空腔体密封、抗辐射灌封;
宇航耐高温复合材料基体、航天器耐空间辐照结构胶;
高可靠传感器、精密光学器件高温透明封装材料。
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李园