现有清洗剂种类较多,可用于清洗各种不同材质的产品表面污渍,然而对于树脂类材质的产品表面的清洗,目前的清洗剂或多或少都会出现损伤树脂表面,造成产品外表破坏,影响产品质量。专用的树脂清洗剂可清除BCB旋涂后边缘残留或溢出胶层,防止污染键合机台或后续工艺区域。
特性
树脂清洗剂具有以下优良特性:
高清洗能力
高耐热性
污染少、气味少
未使用有害物质,对注塑机污染少。
清洁作业良好
降低外观不良率(异物)
用途
树脂清洗剂可用于非光敏BCB光刻或键合前的清边处理,尤其适用于圆片级封装工艺。
制备
针对现有技术的不足,CN105039022A提出一种树脂清洗剂,组成合理,对树脂表面无损伤。
为了实现上述发明目的,本发明提供以下技术方案:一种树脂清洗剂,由下述重量百分比的成分组成:三甲基苯20~38%、醋酸钠10~18%、甲乙醚5~8%、甲醇余量。
进一步地,各成分分别为:三甲基苯28%、醋酸钠12%、甲乙醚8%、甲醇余量。
进一步地,各成分分别为:三甲基苯35%、醋酸钠14%、甲乙醚6%、甲醇余量。
与现有技术相比,本发明具有以下优点:各组成相互配合,构成便于清洗树脂表面的清洗剂,组成简单,清洗效果好。