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二碘硅烷新闻专题

二碘硅烷的合成与应用
二碘硅烷的合成与应用
二碘硅烷是易燃含碘硅烷,核心用作半导体化学气相沉积的低温硅前驱体,适配多类基材,契合芯片超微型化制程需求,有多条合成路径,也可作有机合成碘化试剂。
2026/5/5 8:00:22 阅读量:119
二碘硅烷的应用及分解机制
二碘硅烷的应用及分解机制
二碘硅烷易挥发适配CVD,是制备3DOM/m C/Si锂电负极材料的前驱体。其在CVD中经歧化、硅烷分解、四碘化硅还原及碘化氢分解副反应,使硅纳米颗粒选择性填充碳介孔。
2025/10/15 10:13:32 阅读量:700